电子散斑干涉测量技术是光学测量技术的重要分支。电子散斑干涉测量技术是利用条纹分析实现变形的无损测量,具有非接触、全场性、精度高的特点,近二十年来已成为测量变形场的重要方法。电子散斑干涉术通过在被测物体表面产生干涉条纹(载频调制条纹),分析位移场与物面高度之间的关系,可测量物面的形貌。该方法基于光的干涉,测量灵敏度高。电子散斑面形测量技术基于传统的电子散斑干涉技术,具有电子散斑干涉技术的一系列优点。本文就电子散斑干涉结合傅里叶变换法用于物体变形、面形测量进行了研究与讨论,主要内容是:1.介绍了散斑的成因、产生方法及相关概念;回顾了散斑干涉计量的起源与发展;系统介绍了电子散斑干涉的原理及散斑干涉中的位相测量技术。2.回顾了物体变形及面形测量的发展过程,重点介绍了电子散斑干涉载频调制和傅里叶变换法相结合的测量物体形貌的方法。3.根据电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的基本原理,物体表面的微小偏转可引入包含物体高度信息的载波干涉条纹。物体的偏转使物体表面产生离面位移与面内位移。将物体由于变形而产生的相位差与物体由于偏转而产生的相位差进行对应比较,得出了离面位移引入了载波,面内位移引入了含有物体高度信息相位的结论。基于这种结论对电子散斑干涉载频调制可用的几种形貌测量方法进行了讨论,比较得出利用典型电子散斑干涉系统测量物体形貌,载波条纹与物面对载波条纹的调制均比较明显,容易利用傅立叶变换解调出含有物体高度信息的相位,并通过实验得到了验证。4.参与设计了一种新型的大剪切方棱镜,并利用这种新型的大剪切镜做了一系列电子散斑干涉测量物体变形及形貌的实验,效果良好。实验也证实了利用这种新型的大剪切镜可以有效利用光强透过率,还具有价格便宜的优点。有利于实现产品化和规模化。