论文部分内容阅读
金属氮化物镀层是一类在刀模具表面处理中应用十分广泛的涂层材料,随着现代加工制造业的发展,尤其是高速干切削技术的进步,对镀层刀具的提磨性提出了更高的要求,在保持氮化物高硬度的同时降低摩擦系数可以有效的延长镀层刀具的使用寿命,因此制备兼具有高硬度和低摩擦系数的金属氮化物镀层是近些年的研究热点。由于Mo的氮化物镀层在摩擦中中可以生成具有润滑作用的Magneli相氧化物,因此含Mo的金属氮化物纳米多层膜因兼具有高硬度和低摩擦系数而成为了研究的热点。本文采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备了具有不同调制周期