电光调制器作为光学信息传输链路的核心元件之一,在光通信、光传感、光信息处理等领域有着重要的应用。目前电光调制器面临着成本过高、调制速率和带宽的进一步提升较为困难等问题,使其应用范围受到了一定的限制。因此,研制性能优良、价格低廉的电光调制器已成为国际上研究的热点之一。近年来,聚合物光波导环形调制器引起了人们的广泛关注。聚合物材料具有折射率可调、介电常数低、电光系数大、成本低、工艺兼容性好及易集成等优点,在制备高性能电光调制器中具有很大的优势。而聚合物光波导环形调制器则进一步结合了光波导环形谐振腔高品质因数、结构紧凑的优点,使器件的尺寸与功耗大大降低,因而具有更加广阔的应用前景。本论文研究了一种新型结构的光波导环形电光调制器,包括：环形谐振腔光波导、电极、微波探针结构的优化设计、制备工艺优化和电光调制器的性能分析。本文研究了一种新型结构的聚合物光波导环形电光调制器。首先对该调制器的结构进行了设计,对调制器的灵敏度、调制带宽等性能参数进行了理论分析,并通过参数优化实现了性能的提升。其次利用有效折射率法对环形调制器的弯曲倒脊形波导进行了理论分析与单模设计,采用数值计算的方法计算了倒脊形波导的弯曲损耗,最终得到了优化的弯曲倒脊形波导的结构参数。在给定倒脊形波导的参数下,对电光调制器的电极系统进行了优化设计,得到了最优化参数。在前面工作的基础上,对聚合物光波导环形电光调制器的制备工艺进行研究,并对其中的关键工艺进行了优化,为下一步制备高性能电光调制器打下基础。最后对调制器的测试系统中的关键部件微波探针进行了设计,利用HFSS软件研究了不同结构参数对探针性能的影响,得到了优化的结构参数。实验制备出了用于测试电光调制器的微波探针,并对其性能进行了初步测试。