本论文通过常压等离子体化学气相沉积(Atmospheric Pressure Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition-APECVD）的方法，利用六甲基二硅氧烷（Hexamethyl Disiloxane-HMDSO）作为硅源，与氩气（Ar）、氧气（O2）按照一定的比例进行混合，对高强高模聚乙烯（Ultra High Molecular Weight Polyethylene-UHMWPE）锂离子电池隔膜的进行杂化处理，形成UHMWPE/SixOyCzHm杂化隔膜。主要研究了等离子体放电特性，不同反应气氛及沉积时间对杂化隔膜表面形貌、化学成分、结晶性能、热收缩性和亲水性能的影响。结果表明，通过自行设计的梳状电极，可快速在隔膜正反两面同时沉积，获得耐热亲水的UHMWPE/SixOyCzHm杂化隔膜，具有良好的应用前景。　　实验过程中，我们自行设计了可以同时对隔膜进行双面杂化涂层处理的APECVD装置；并对混合气体的等离子体放电特性进行了测试。包括放电频率、电压、电流，并计算其功率、等离子体的发射光谱（OES）。测试结果表明，混合气体的常压等离子体放电以细丝放电为主，在该细丝放电中，HMDSO和 O2裂解电离生成如SiO以及SiH等活性离子，为薄膜沉积的主要前驱体。　　通过扫描电子显微镜（scanning electron microscope-SEM），全反射红外光谱（attenuated total reflection Fourier infrared spectrum-ATR-FTIR），X光衍射光谱（X ray diffraction spectroscopy-XRD）对杂化薄膜的物理化学结构进行了测试研究。通过SEM观察，发现不同的O2/HMDSO配比对沉积隔膜的表面形貌有直接的影响。在O2气流比例较小时，得到对隔膜纤维具有较好包覆性能的致密沉积纳米颗粒薄膜；而增大 O2比时，沉积薄膜逐渐出现多孔的颗粒膜结构。ATR-FTIR结果表明，涂覆的颗粒薄膜主要含有Si-O-Si，SiOH，Si-CH3，Si(CH2)2等结构，且随着混合气流中O2比例的不断增加，红外谱图中Si-O-Si及SiOH结构特征峰强度也不断增强，杂化隔膜的结构可以表示为UHMWPE/SixOyCzHm形式。XRD实验结果表明，O2/HMDSO流量比增加，2θ为31°、36°处有明显硅基结构的衍射峰出现，分别归属于Si-O结构的（102）、（200）晶面衍射峰，衍射峰强度增强，说明提高O2/HMDSO流量比可有效的提高沉积薄膜的结晶性，这一结论与前述FTIR分析结果一致，说明涂敷层的无机特性增强，结晶特性有所提高。　　研究同时发现，随沉积时间延长，沉积膜厚度不断增加，沉积物质以Si-O-Si结构为主，同时引入强极性官能团-OH，Si-O-Si及SiOH结构的红外特征峰不断增强，杂化隔膜由多孔纤维状微纳米颗粒膜结构过渡到致密的颗粒膜结构。　　对UHMWPE/SixOyCzHm杂化隔膜进行了WCA、孔隙率、透气率、热收缩率等性能测试，探究其在经过杂化涂层处理后，隔膜的抗热收缩性及亲水性的变化。WCA、孔隙率、透气率的实验结果表明，随着沉积时间的不断延长，亲水性、孔隙率、透气率都有一个明显的最佳时间。随O2/HMDSO气流比的增加，亲水性提高并达到稳定，孔隙率和透气率有一个较为明显的最佳值。最佳的隔膜的热收缩率可以降低到2~3％以下。说明通过 APECVD短时间有效处理，可显著提高UHMWPE隔膜的各项性能。　　综上所述，通过微丝放电 APECVD涂覆处理后，制备出多孔的SixOyCzHm纳米颗粒膜双面涂覆的UHMWPE杂化隔膜，Si-O，-OH等基团的引入有效提高了隔膜材料的抗热收缩性能和亲水性，同时多孔纳米颗粒膜的引入为电池隔膜透气性提供了根本保障，具有较好的应用前景。