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半导体器件漂移-扩散模型是由三个拟线性偏微分方程及初边值条件构成的.电子位势方程是椭圆型方程,用混合体积元方法得到离散格式;电子和空穴浓度方程是对流-扩散方程,用特征混合体积元方法提出离散格式,这一格式保持局部质量守恒.为得到最优误差估计,在逼近中采用后处理.最后,利用数值算例验证理论分析结果.