大面积高密度柔性阵列传感器技术研究

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柔性压力传感器是指由柔性电极,柔性基底,柔性压敏材料构成的柔性电子器件。针对当前柔性传感器存在的大面积传感阵列集成研究较少,集成效率过低,体积过大等问题,对柔性压力传感器集成技术进行了深入研究,为下一步的大面积高密度传感器研发奠定了基础。本文的主要研究内容和创新点如下:1、研究了助剂,敏感层微小结构,多相粒子并用等因素对复合材料性能的影响。以炭黑/室温硫化硅橡胶,石脑油等材料可制得具有良好压阻特性的复合材料;基于3D打印技术获得压敏层微小结构,可提高传感器灵敏度;通过炭黑/碳纳米管并用,材料的压力响应范围更大。通过对复合材料印刷研究,双组分室温硫化硅橡胶更适合印刷,网版200目,配合稀释剂调节材料流动性,可获得良好的印刷效果。2、以印刷电子工艺为基础,提出了三种大面积高密度传感阵列。首先以FPCB和丝网印刷工艺,设计了“三明治”和“叉指”型阵列,在1cm~2集成25个阵列点,阵列厚度约0.3mm,均具有良好的压阻效应;提出了一种全丝网印刷工艺的传感阵列,在0-7N内具有良好压阻特性和重复性,阵列厚度约0.3mm,阵列密度和面积可变,工艺简单,成本低廉。3、通过STM32,AD7606,CD4067设计并搭建了信号采集与处理电路,将采集到的信号通过UART传输至Labview解析,处理并显示,测试表明该检测系统能够实现对压力数据的采集和显示。
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