基于斜入射的反射式光纤位移传感技术的研究

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光纤传感器凭借其结构简单、体积小、抗电磁干扰、成本低、测量精度高等优点广泛应用于温度、湿度、折射率、压力、位移、振动等物理量的监测。光纤传感器测量位移的调制方式主要有强度调制和波长调制两种。其中,反射式强度调制型光纤位移传感器(RIM-FODS)是比较经典的一类光强度调制型传感器,具有设计灵活,可实现非接触式测量的优点,已成功应用于位移、角位移、振动、表面粗糙度等物理量的测量。本文首先介绍了光纤传感器基本情况,并认真总结了反射式光纤位移传感器的研究现状。随后,在光纤出射光场服从均匀分布、待测物体表面为理想镜面反射的假设下,推导了反射式强度调制型光纤位移传感器的理论模型和光强调制函数。在此基础上,建立了斜入射式RIM-FODS的理论模型和推导了光强调制函数,仿真分析了发射光纤纤芯半径和数值孔径,接收光纤的纤芯半径,光纤倾斜角度,以及传感器的结构参数对光强调制函数的影响规律。为了消除光源输出功率波动,光纤传输损耗等因素对传感器输出结果的影响,使用了具有自动功率控制的光源,并且额外引入一路接收光纤,形成双接收光纤的位移传感器,通过两路接收光纤的比值实现传感器的强度补偿。最后,对传感器的输出特性进行了实验验证,包括光纤倾角对传输曲线的影响,传感器的重复性、稳定性等。此外,还与迈克尔逊干涉仪的测量结果进行了对比,两传感器的测量偏差仅为2.98%;利用传感器测量纸盆型扬声器的共振频率,测量误差为1%。
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