早在40年前，研究人员已经开始了对厚膜压力传感器相关技术的研究，在此期间，人们对于该技术的理论研究越来越深入，厚膜压力传感器在各个领域中的应用也越来越广泛，其中，汽车电子领域是厚膜压力传感器最重要的领域之一。早期的厚膜压力传感器主要基于96%Al2O3陶瓷基板，这种压力传感器一直沿用至今；随着厚膜浆料系统的发展，国外已经有公司提出了基于金属基板的厚膜压力传感器，但是，由于严格的专利保护，外界对其相关信息知之甚少；国内很少有研究机构和企业对此类厚膜金属压力传感器展开研究。本论文的相关研究工作是在飞恩微电子有限公司的支持下进行。本论文在充分研究厚膜浆料系统的特性、厚膜压力传感器的工作原理和制作工艺的基础上，通过理论计算、ABAQUS有限元仿真和性能测试等方法，对厚膜压力传感器的设计和工艺流程进行了深入的研究和优化；；并且对压力传感器的性能进行了分析。本论文主要研究了一下五个方面的问题：（1）在厚膜压力传感器的设计方面：对厚膜压力传感器的工作原理进行了较为深入的研究，包括厚膜电阻的压阻效应、惠斯通电桥原理、小挠度理论。（2）在厚膜压力传感器的制作工艺方面：对压力传感器制作工艺流程的设计，其主要包括先进丝网印刷和厚膜浆料烧结时的温度控制。（3）在厚膜介质层与金属基板的兼容性方面：对厚膜介质层与金属基板的结合界面进行了分析测试，研究不同膜层间的结合特性。（4）在厚膜电阻的设置方面：通过ABAQUS模拟金属膜片应力应变分布，计算厚膜电阻最佳布置方式，并制作了厚膜金属压力传感器样品。（5）在厚膜金属压力传感器的性能方面：在全温域（-40℃~125℃）内对传感器进行性能分析测试；通过测试对传感器的压力量程进行了标定，对传感器的失效模式进行了分析，并提出了传感器的性能优化方案。