基于Plant-Simulation的硅片生产线的仿真与优化研究

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本文利用计算机仿真技术,对实际生产线进行建模与仿真,通过设计DOE实验找出生产瓶颈并提出改善方案;结合遗传算法对混流订单投产序列进行优化;分别运用层次分析法和物元信息熵的概念对生产车间的整体健康度进行计算和预测。利用Plant simulation软件搭建硅片生产线的仿真模型,对生产线平衡以及瓶颈工位进行分析,通过DOE实验分析了设备故障率和暂存区容量对产量的影响效果,提出了相应的改善方案;按照改善方案进行仿真实验,生产线的产量提升了14.5%;针对混合流程投产序列问题,提出了以生产成本最小化和总生产时间最小化的综合优化目标,对遗传算法进行设计,结合模型的仿真评价,对实际生产线的订单投产顺序进行优化,总的生产时间减少了48分25秒,生产成本降低了11.9%,生产线的效率明显得到提升。分别运用层次分析法和物元信息熵的方法计算各因素指标对生产线健康度的影响权重,然后将两种方法计算出的影响权重相结合,计算出生产线的健康度值;最后使用GA-SVM的方法搭建预测模型,对生产线健康度进行仿真预测,通过仿真结果表明,该模型可以准确的预测生产线的运行状态,对车间的生产调度和设备维护等工作的开展提供了重要的数据支撑。
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