深亚微米工艺条件下的单元工艺参数提取和建模是一个极其复杂的过程，开展这方面的研究工作具有重要的学术意义和很高的实用价值。本文给出了深亚微米工艺条件下单元工艺参数提取和建模的完整流程，该流程能快速精确地完成单元工艺参数提取和建模。文中提出的激励波形约简算法、输入信号驱动算法、测试点动态插入算法和结果表优化压缩算法等，达到了国际同类研究的先进水平。 本文实现了单元工艺参数提取的激励波形生成算法，该算法在分析单元函数功能的基础上，通过借鉴多维路径敏化算法，从逻辑上得到参数提取的激励波形。对于单元引脚较多的情况，算法通过分析电路中间节点的充放电状态，提出了激励波形约简算法，通过激励波形精简，大大地加快了工艺参数提取过程。 论文研究了深亚微米工艺下的格点偏离现象，解决了深亚微米工艺条件下的输入信号定位问题，提出的输入信号驱动算法能快速精确地得到与实际信号一致的输入激励信号，很好地提高了工艺库参数的精度。 在分析深亚微米工艺下器件模型的基础上，文章推导了单元工作曲面范围的计算公式，给出了参数提取测试点的选择算法。通过计算单元在各测试状态下的最大、最小输出负载，输入信号的最大、最小斜率，算法能精确计算单元的工作曲面范围；通过参数测试点的动态插入，算法能获得最佳的参数测试点，最大程度地表征整个参数曲面空间。 对于深亚微米工艺下参数提取的冗余测试现象，文中给出了参数表的优化压缩算法，其结果表能精确表征整个参数曲面空间并足够简练。 文章最后讨论了单元的信号完整性问题。论文研究了IR Drop对单元时序参数的影响，给出了相应的表示方法；论文研究了单元内布线对串扰效应的影响，提出了一种减小串扰效应的单元内布线算法和串扰效应的估算模型。