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滑阀副是一种利用阀芯、阀套构成的锐边方孔进行节流控制的执行机构,因其优良的流量特性被用作伺服阀功率输出级。由于滑阀副通过阀芯轴向位移改变节流口的大小,进而控制流量输出,因此滑阀副的轴向配合尺寸,即滑阀副的叠合量成为滑阀副制造工艺的关键指标。生产实际中叠合量的指标为1μm,且不能互换,目前普遍采用流体的方式测量叠合量。以航空液压油作为测量介质,薄壁孔淹没方程为理论基础的液动测量方法具有广阔的应用前景。生产实践表明,部分滑阀虽然可以满足叠合量的指标,但是在整阀调试的时候会出现伺服阀的压力增益和内泄露指标