【摘 要】
：
该研究利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制备一层钛铌酸锶薄膜,然后蒸铝和利用光刻技术制作铝电极,形成Al/SrNbTiO/SiO/Si结构,成为平面型SrNbTiO
论文部分内容阅读
该研究利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制备一层钛铌酸锶薄膜,然后蒸铝和利用光刻技术制作铝电极,形成Al/SrNb<,x>Ti<,1-x>O<,3>/SiO<,2>/Si结构,成为平面型SrNb<,x>Ti<,1-x>O<,3>薄膜电阻结构和MIS结构并联的元件.我们制备了不同电极距离和不同图形的平面电阻型样品,从理论和实验上对其热敏性和电容效应进行研究.该文首先介绍了温度和热敏传感器的基本理论,然后对SrNb<,x>Ti<,1-x>O<,3>薄膜的热敏特性进行研究.对钛铌酸锶的阻温特性进行分析,推测钛铌酸锶淀积薄膜在常温下具有负的温度系数,并从实验上证实了这一点.从元件的物理结构和热敏机理出发,建立了一个热敏电阻—电容并联的理论模型,并作说明.
其他文献
现今嵌入式设备的数量呈现大规模增长的趋势，市场上对其的需要越来越盛。IMS实验室开发的RISC处理器IMS-DPU是其中一款质量可靠、功能完善的双核处理器。在IMS-DPU的基础上，开
目的 探讨分级诊疗模式在社区常见恶性肿瘤防治中的效果.方法 2017年12月至2018年6月上海市某社区卫生服务中心附近的居民,通过问卷调查和健康体检初步筛选出具有肺、胃、肝
该论文对光孤子时分复用系统进行了理论和实验研究,重点研究了光弧子时分复用的三大基本技术之一--解复用技术.第一章简要介绍了光弧子时分复用系统及其关键技术.论文的第二
干扰素(Interferon，IFN)系统在机体抗病毒免疫反应中发挥重要作用。机体细胞在识别病毒感染后，通过一系列信号转导最后激活两种重要的转录因子干扰素调控因子(Interferon regul
随着通信和计算机领域中的并行与分布式系统研究的发展,人们越来越关注格型网络.该文对格型网络中FLBH网络的可靠性作了详细的研究,主要包括网络链路的可靠性分析、节点设备
全向天线是一种(水平面)辐射能力完全相同的天线,它广泛应用于点对多点通信、广播、数据传输、组建无线扩频网等领域.该文研究了一种S波段垂直极化全向天线,它具有结构紧凑、
黑翅土白蚁Odontotermes formosanus(Shiraki)分布于中国南部和东南亚地区，主要为害堤坝及农林作物，特别对水利堤坝的危害最为严重，轻者引发土质堤坝发生管漏、跌窝、滑坡等重大
该论文对光纤通信中受到广泛重视的分布反馈半导体激光器进行了深入的理论研究及实验研究。第一间主要介绍了半导体激光器发展历史及其在当今信息领域应用现状和发展方向;第
近年来有关microRNAs(miRNAs)在疾病的发生发展及其调控作用方面的研究已经成为研究热点.miRNA可通过转录后途径在大多数生物组织中抑制其天然靶标的表达,从而在细胞生长、分