【摘 要】
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以OLED器件为代表的柔性显示器件等薄膜在制备发展的过程中,其阻隔水、氧的能力与器件稳定工作的寿命息息相关,目前亟需可以高灵敏、准确测量高阻隔封装的薄膜的水氧以及活性气体渗透率的设备。本文提出了基于质谱法的气体渗透率测量方法,包含静态测量与动态测量两种信号检测模式,对水气测量引入基于标准流导器件SCE的标定模型,对渗透信号进行渗透数值标定,致力于高灵敏、准确地测量薄膜的水渗透率。（1）基于经典薄膜
【基金项目】
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基于压差质谱法的高精度水氧渗透检测原理与设备研发（数字制造装备与技术国家重点实验室自主课题重点项目,项目编号0225100102）与京东方显示封装薄膜水氧阻隔率测试横向课题（合同编号177209）；
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以OLED器件为代表的柔性显示器件等薄膜在制备发展的过程中,其阻隔水、氧的能力与器件稳定工作的寿命息息相关,目前亟需可以高灵敏、准确测量高阻隔封装的薄膜的水氧以及活性气体渗透率的设备。本文提出了基于质谱法的气体渗透率测量方法,包含静态测量与动态测量两种信号检测模式,对水气测量引入基于标准流导器件SCE的标定模型,对渗透信号进行渗透数值标定,致力于高灵敏、准确地测量薄膜的水渗透率。（1）基于经典薄膜渗透理论展开研究并提出了薄膜渗透模型,提出了静态与动态两种测量模式,静态测试方法适用于较低阻隔率的薄膜渗透情形,获得完整测试曲线可分析薄膜扩散系数;动态测试方法基于气体信号富集的思路放大微弱的渗透信号,适用于高阻隔体系薄膜渗透测量,两种测量方法均在薄膜渗透理论基础上给出了测量模型。同时基于理论指导设计搭建了薄膜渗透测量设备,从实际实验角度开展验证分析最终获得多种薄膜体系渗透信号变化曲线。（2）引入标准流导器件SCE标定方法,为质谱检测信号提供一套有效的标定流程。通过对比多孔介质与单孔结构中吸附性气体传输的相似性,计算得到重水蒸汽在SCE中的传输修正,最终根据静态方法与动态方法数据分析提出不同的标定方案,与实际测量得到的薄膜渗透数据对比可行性。本文的基于标准流导器件的标定方法适用于静态与动态两种测量模式,能够在1e-5～1e-1g/（m~2*day）宽量程范围内实现偏差在30%以内的薄膜渗透率预估,能很好地满足现有产业可行性标准。
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