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本文详细分析了金刚石的合成工艺和合成时的热力学特性,采用模糊控制和PID控制的优点,提出了一种新型的在线模糊自适应PID控制策略,该策略能够根据金刚石在合成时其特征参数的变化而自动在线修改PID的控制参数,使控制器具有良好的动态跟踪特性。
控制系统在设计时进行了硬件设计和软件设计,硬件系统是由CPU板、A/D板、D/A板、CRT显示器、I/O输入输出板以及检测元件和可控硅及可控硅触发板所组成。系统软件采用组态软件作为软件开发平台,通过对监控软件进行图形组态、数据库组态、I/O设备驱动组态以及监控软件的控制策略组态等,最终生成了能够满足系统要求的应用软件。应用软件的图形界面包括输入工艺、运行曲线、历史报表、模拟量工况、开关量工况、故障的显示及报警等。采用组态软件编程,生成的人机界面友好,且便于在线修改。
该控制系统在进入现场之前进行了实验室的调试和实验,主要包括控制策略的仿真研究,PC工控机各板卡的性能测试以及可控硅的安全保护等。