【摘 要】
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该文分析了工作台导轨误差的来源,对偏摆误差进行了建模分析,并由此建立了一套误差补偿控制系统.误差补偿系统由宏动、微动两部分组成,宏动系统由高性能的伺服电机和光栅编码
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该文分析了工作台导轨误差的来源,对偏摆误差进行了建模分析,并由此建立了一套误差补偿控制系统.误差补偿系统由宏动、微动两部分组成,宏动系统由高性能的伺服电机和光栅编码器组成闭环控制回路,完成系统的宏定位;微定位系统通过电涡流传感器对导轨的直线偏摆误差进行测量,在计算出工作台悬臂梁的偏摆后,由压电陶瓷对该偏摆误差进行纠正,实现误差补偿的目标.针对压电陶瓷存在的迟滞、蠕变和位移非线性等不足,微定位闭环控制中采用了闭环PID控制算法,实现了压电陶瓷微位移驱动器快速、高精度的位置控制;同时,在系统在抗干扰方面也进行了很多卓有成效的研究.在开妈偏摆误差补偿系统的过程中,编制了一套控制软件.该软件完成了宏动系统的初始化、工和台运动编程控制等功能,实现了对宏动系统的各项运动参数的软件在线测量,同时完成了应变和电涡流传感器信号的实时采集和显示,工作台悬臂梁的偏摆误差的检测和显示,为宏、微控制系统的评估和诊断提供了强有力的工具.在误差补偿控制系统的实验研究中,对宏微系统的各方面进行了全方位的测试,验证了误差补偿方案的可行性.同时,也发现了系统存在的一些问题和设计上的一些缺陷,为下一步误差补偿系统的完善提供了良好的基础.
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