工业应用中离子渗工艺对电源的要求在不断提高，传统的离子渗电源在应用上已无法满足。为了改进离子渗工艺成膜质量，提高电源效率，本文从离子渗电源的拓扑结构上加以改进，采用了模块化结构，引进了第三电极，提出了一种新型的A2K等离子体源设计方案。　　离子渗工艺处理一般工作在辉光放电区，为了保护工件，要防止其转向弧光放电。结合传统的离子渗电源的灭弧措施，本电源采用了主动灭弧的方法。通过逆变、变压器耦合、整流得到大功率的单向主脉冲，在脉冲的死区时间内，通过引入的第三电极，给等离子体负载加入可调的间歇式反向脉冲。这样既达到了灭弧的目的，在不影响成膜质量的情况下，整体上比较灵活地实现非对称双极性脉冲源，使得反脉冲的能量最少。　　主功率部分采用了模块化结构，可根据所需功率的大小来选取模块的个数，节约了电源的非必要成本。同时，功率的传输是通过变压器耦合得到的，变压器的次边整流相互独立，互不影响，同相位的模块可以通过串联来提高输出脉冲的电压。相位相差180?的模块与之并联，可以实现输出脉冲的倍频。这种模块化结构的设计，使得功率开关管和整流二极管都可以采用常规晶体管来实现，成本低廉。　　本文还给出了控制电路的详细设计方案，包括控制芯片的选择，脉冲信号的变换与整形，驱动方案的选择及驱动电路的设计，过温、过流保护电路的设计。　　根据以上设计方案搭建电路制作了新型的A2K等离子体源样机，并对其进行实验调试，得到了大量的实验数据和实测波形，给出了调试中遇到的问题和解决方案。使用模拟负载测试，验证了该方案的可行性，功能基本达到了设计目标。