空间光调制器件是近代光信息处理系统中的关键型器件，在光学图像处理，数据编译码，激光整形，光学镊子等诸多领域内得到了广泛的应用。特别是相位型的空间光调制器件，它通过改变入射光相位的方式来调制成像平面的振幅，与传统液晶显示器的光强调制方式相比，具备更高的光能利用率和更高的衍射效率，从而被广泛的用在光电混合信息处理系统中。　　LCoS器件则是一种新型的液晶器件，具备光能利用率高，集成度高及分辨率高等优势，基于LCoS的相位调制器件具有更为广泛的应用前景。本文以硅基液晶相位调制器件为研究对象，研究其工作原理及影响相位调制特性的因素。并利用TechWiz软件进行模拟仿真，对比了不同的LCoS相位调制器件的工作模式，并对其优化和选择。采用反平行取向的工作模式，优化了影响其相位调制特性的关键工艺参数，并以理论计算及仿真模拟为指导，设计了LCoS相位调制器的结构材料参数。工艺中确定了各环节的工艺参数，流通了整个工艺流程，制备了LCoS相位调制器的样品。根据相位调制特性的测试方法，搭建了光学平台，对样品屏的光电特性及相位调制特性进行了测试，分析了测试结果，为相位调制器件的进一步研究打下了良好的基础。