退火处理对柔性基体钼及钼-铜合金薄膜微观结构的影响

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【摘要】

：

随着柔性显示器件、智能穿戴技术及太阳能电池的快速发展,亟需开展高性能柔性基体薄膜材料的研制。钼(Mo)及其合金薄膜因其优良的耐蚀性、电导性、热稳定性及与基体良好的结合强度,已作为电极、布线及阻挡层材料广泛应用在太阳能电池、液晶显示器等众多领域,以往对纯Mo薄膜、Cu-Mo合金薄膜的研究主要集中在单晶硅、玻璃等刚性基体上薄膜的结构及性能,对柔性聚酰亚胺(PI)基体上Mo及其合金薄膜的研究尚缺乏系统研

【作者】

：

何孟杰

【机构】

：

河南科技大学

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

钼-铜合金膜柔性基体残余应力铜颗粒退火处理

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