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测量技术已成为制约高精密加工发展的关键技术在航空航天，汽车，光学等领域，圆度/圆柱度仪均提供了有效地测量手段而电感传感器由于测量精度高，抗噪能力强，结构简单等优点而被应用在圆度/圆柱度仪中传感器的测量精度直接影响到圆度/圆柱度仪的测量结果因此对高精度传感器技术的研究成了极为重要的任务以此为背景，本文针对圆度/圆柱度仪用电感传感器进行了分析讨论，主要研究内容如下：首先，本文针对应用于圆度/圆度仪的差动结构电感传感器线圈进行了研究分析了差动线圈的质量对传感器的分辨力量程线性度等指标的影响针对传统线圈的均匀缠绕方法，介绍了一种新型的阶梯型线圈绕法由于差动线圈由两个线圈构成，本文还分析了两个线圈参数的不对称对传感器输出电压的影响同时还列举了几种简单的方法以消除这一影响其次，本文对传感器的静态特性和动态特性进行了研究传感器的静态特性和动态特性直接反映了一个传感器的性能同时在传感器的加工装配过程中无法避免地会引入误差，导致传感器的实际特性与理论特性具有一定的偏差针对这种偏差，本课题研究了相应的补偿方法通过对传感器特性的补偿，可以提高传感器在实际测量过程中的测量精度传感器动态模型的分析和建立是传感器特性补偿的基础，同时考虑到在模型建立过程中不可避免的简化和近似这一问题，本文讨论了建模误差对传感器动态补偿效果的影响再次，本文针对传感器信号处理部分进行了优化设计在这一部分，主要针对滤波器稳定性电路板优化设计以及传感器信号处理过程中整体的信号处理流程等做了讨论在此基础上对之前开发的采集卡做了相应的改进，并对改进前后两个版本的采集卡进行了实际效果的比对最后是实验部分在实验过程中验证了传感器的静态特性和动态特性实验表明在传感器量程为460μm时，分辨力达到了15nm，而传感器量程为70μm时，分辨力则达到了5nm可以满足圆度/圆柱度仪高精度测量的要求实验过程中同样验证了传感器系统动态特性的补偿效果补偿后传感器系统的响应频率由312Hz达到了381Hz缩短了圆度/圆柱度仪在相同条件下的测量时间