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薄膜/基底二元结构和多层膜/基底结构在信息科学与工程中占有十分重要的地位.薄膜/基底结构通常是工作在残余应力场、外加应力场、温度场和电磁场的联合作用中。这类薄膜的第一类破坏形式是断裂;第二类则是屈曲、散裂;薄膜在纳米尺度上的变形和损伤直接影响到器件的性能和寿命,因此,将薄膜/基底作为一个基本结构,对其中薄膜的屈曲,屈曲扩展以及后屈曲的力学行为进行研究和模拟,具有其必要性和紧迫性,对预测微电子器件的寿命具有参考意义.本文首先在查阅了相关文献的基础上,总结了比较有代表性的实验和模拟研究成果,并