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BaTi_2O_5具有较高的居里温度,且在较高的温度范围内仍然具有较高的介电常数(ε_r)和较低的介电损耗(tanδ)。BaTi_2O_5材料是很好的适用于高温环境的新型无铅铁电材料。目前,对BaTi_2O_5的研究集中在单晶、(010)取向多晶和陶瓷上,而BaTi_2O_5薄膜的研究报道很少。随着电子元器件的集成化、小型化发展,薄膜材料具有独特的优势。因此,BaTi_2O_5薄膜的结构与性能关系的研究势在必行。1.采用Sol-gel法在Pt(111)/Ti/SiO_2/Si基板上制备BaTi_2O