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微机电系统（MEMS）技术近年来的飞速发展，为引信的发展带来了其它技术不可比拟的技术支撑。MEMS技术能够保证引信机构的微型化以及其稳定性的提高。本文内容主要分为两大部分：MEMS安保机构的结构设计以及试验验证。文中首先介绍了MEMS的发展以及该技术用于引信机构所取得的成果，随后根据给定的环境参数，利用虚拟设计技术，在ADAMS软件中建立动力学模型，对安保机构进行结构设计并仿真。在采用LIGA技术加工完成后，对加工出的部分零件关键尺寸进行测量，对加工误差作一定的了解，并推导误差对引信功能的影响。将加工好的零件装配完成后，对其部分功能进行验证，并且将试验结果与初始仿真进行对比，可以进一步确认虚拟设计的可靠性。针对试验中出现的问题，在设计中分别采取不同的方式对存在的问题进行了改进，其中主要是弹簧刚度不稳定性以及挂锁可靠性对整套引信机构功能的影响。