铝诱导法制备多晶硅薄膜研究

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【摘要】

：

多晶硅薄膜在长波段具有高光敏性，对可见光能有效吸收，又有与晶体硅一样的光照稳定性，所用材料价格低廉，被公认为是高效率和低功耗的光伏材料，在太阳能电池、传感器、液晶显示、薄膜晶体管和大规模集成电路等领域得到广泛的应用。制备多晶硅薄膜的方法中，金属诱导晶化法制备多晶硅薄膜具有晶化时间短、温度低、制得的硅晶粒尺寸大的优点，因此金属诱导晶化越来越受到人们的关注，目前用得最多的是铝诱导晶化(Aluminum

【作者】

：

王建军

【机构】

：

陕西师范大学

【发表日期】

：

2007年04期

【关键词】

：

铝诱导晶化多晶硅非晶硅 X射线衍射拉曼谱

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