本文采用热氧化法（thermal oxidation method）和固相反应法（solid state reaction method）制备了纳米ZnO/Co₃O₄、SnO₂/Co₃O₄复合氧化物和掺Zn离子的SnO₂金属氧化物气敏材料,采用XRD、TG、DSC、TEM、FESEM等测试手段对合成的复合/掺杂金属氧化物进行表征,研究了制备条件对产物的物质结构,热学特性和显微形貌的影响。本文还探讨了复合/掺杂金属氧化物厚膜气敏元件对挥发性有机化合物（VOCs）蒸汽的气敏性能;分析了掺杂/复合量对产物的气敏特性的影响,并与纯的ZnO、SnO₂氧化物的气敏性能比较。研究结果表明:热氧化法和固相反应法合成的复合/掺杂金属氧化物系列的晶粒尺寸集中在60nm以下,随着掺杂量的不同,对晶粒尺寸和晶格参数的影响不同。ZnO/Co₃O₄厚膜气敏测试结果表明:复合量为7mol%Co₃O₄的复合氧化物气敏元件对VOCs蒸气的敏感度较好。厚膜对乙醇、甲醇和苯蒸气的最佳工作温度为420℃。SnO₂/Co₃O₄厚膜气敏测试结果表明:复合量为3mol%Co₃O₄的复合氧化物气敏元件对乙醇、甲醇和甲醛蒸气的敏感度最好。为了改善SnO₂的气敏性能,对其进行掺杂,研究了Zn掺杂剂的含量对丙酮,甲醇和苯的气敏性能的影响。实验结果发现:适当量的Zn掺杂工艺能降低SnO₂对VOCs蒸汽的工作温度,提高了SnO₂的灵敏度和选择性。本文主要分四个部分,第一部分结合半导体气敏传感器的气敏机理,介绍了有效提高气敏元件灵敏度的方法和其机理以及研究现状,并阐述了本课题研究的目的及意义。第二部分着重分析了采用热氧化法制备ZnO基复合氧化物制备和气敏性能的研究。第三部分探讨了采用热氧化法制备了SnO₂基复合氧化物和气敏性能的研究。第四部分探讨了采用固相反应法制备了掺Zn的纳米SnO₂氧化物,着重研究了Zn掺杂量对SnO₂的物相结构、形貌等和气敏性能的影响。