【摘 要】
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随着微机械、微加工技术的飞跃发展,高频、微振动的测量在生产和科研中越来越受到重视。光学检测方法作为一种重要的非接触式无损检测技术,以其具有结构简单、精度高和稳定性
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随着微机械、微加工技术的飞跃发展,高频、微振动的测量在生产和科研中越来越受到重视。光学检测方法作为一种重要的非接触式无损检测技术,以其具有结构简单、精度高和稳定性好的特点,被广泛的应用。其中,基于光折变晶体的非线性干涉测量技术是一种新型的光学检测方法,本文即利用光折变晶体材料的特性,来实现宽带、微小振动的测量。测量系统采用零差干涉结构,用硅酸铋晶体Bi12SiO20(BSO)记录信号光与参考光干涉所形成的动态全息光栅,并实时衍射,再由光电探测器探测从BSO晶体透射的信号光与参考光的衍射光所形成的干涉信号,从而实现对振动的测量。本文重点研究了在BSO晶体中记录全息光栅的条件,包括两光束夹角、光强比,与衍射效率关系的研究,确定了最佳记录条件,同时分析了影响衍射效率的其他因素。在参考光路中利用1/4波片和偏振片来改变光束偏振态,采用反射式光路增强信号光和参考光在BOS晶体中的二波耦合效率,使干涉系统在晶体不加外电场情况下,具有较高测量灵敏度。以一定频率驱动的压电陶瓷作为被测物体,在0.5kHz-365kHz的频率范围内所测量到的振动频率与预先加载的频率一致。本文最后总结了整个研究工作的内容,并对今后的工作提出了展望。
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