差动式位移传感器的自动检定系统的设计

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该文先介绍了传感器的一般性能指标,进而介绍差动式位移传感器的性能指标和目前检定差动式位移传感器的状况和存在的问题,提出了利用双纵模H<,e>-N<,e>激光作为光源的双频激光干涉仪对差动式位移传感器进行自动检定,并对提高干涉仪精度的关键问题——激光频率的稳定和干涉仪计数做了改进.通过对影响激光频率稳定性的主要因素的分析和对国内外各种稳频技术的理论研究,根据双纵模双频激光干涉仪对稳频的具体要求,提出采用热稳频技术的方案.在对热稳频技术的稳频理论深入研究,在原有热稳频系统的基础上,外加统在激光器颈上的电阻丝和控制预热时间的时间电路,完成了热稳频的设计,并对其作了定性及定量的计算. 该文还对原有干涉仪计数部分进行了改进,提出了用EPROM和三片8253单片机控制电路对干涉仪计数进行信号采样、细分、辨向、辨符号、超速等问题,并用计算机接口设计了数据采集卡. 另外,该文还对该系统的机械部分做了介绍,并对重要机械零部件进行了设计介绍;还对该系统的软件设计作了简要说明.
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