近年来,激光战术战略武器得到了迅速发展,激光致盲武器作为战术激光武器的一种,不仅可以干扰对方光电系统的正常工作,也能使士兵暂时性失明,受到了各国军方的重视,对激光防护材料的研究也就显得越来越重要。二氧化钒（VO₂）作为一种典型的相变材料,在68℃时会发生金属-半导体相变（metal-to-insulator transition,MIT）,相变前后伴随着明显的光学与电学性能的变化,其中红外透过率由低温态的高透过率转变为高温态的高反射率,且具有低的相变阈值与高的损伤阈值,满足了激光防护的基本要求,因而被认为是新型激光防护智能材料。本文围绕VO₂在红外波段的激光防护和提高其可见光透过率两个方面进行了研究。本论文的主要工作如下:1.详细分析了VO₂的相变原理与激光防护理论,引入Drude模型与Lorentz模型研究了VO₂的光学常数,基于等效介质理论分析了VO₂纳米孔洞薄膜的光学特性,为后续仿真和实验提供了理论基本。2.分别用膜系仿真软件TFCalc与光器件仿真软件FDTD Solutions对VO₂连续薄膜与孔洞薄膜进行了仿真,为实验提供了方向性指导。3.优化了反应离子束溅射制备VO₂薄膜的工艺参数,获得了性能较好的VO₂薄膜。分析了后退火工艺对薄膜质量的影响,获得了最佳退火温度。4.采用半导体工艺中的紫外光刻与ICP刻蚀技术制备了VO₂孔洞薄膜,探索了工艺流程与参数。5.采用多种激光器测试了VO₂薄膜的相变阈值与激光损伤阈值。6.用硅光电池作为靶子,进行了VO₂薄膜的激光防护实验。