【摘 要】
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等离子体喷束可以为新材料的合成提供新的方法,在金属表面处理及高分子材料表面镀膜等方面有十分重要的意义。气体放电作为获得等离子体的一种主要途径,在民用和工业中得到了越
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等离子体喷束可以为新材料的合成提供新的方法,在金属表面处理及高分子材料表面镀膜等方面有十分重要的意义。气体放电作为获得等离子体的一种主要途径,在民用和工业中得到了越来越多的应用。
本文建立了一套交流放电产生N2等离子体喷束的装置,该装置可对氮气进行高达15KV连续放电。采用浓度调制光谱技术对放电辉光光谱进行探测。浓度调制通常被认为是瞬态分子的浓度正比于放电电流幅度的绝对值,即为放电频率f的2倍。而在本实验中使用1f和2f均能检测到信号。原因是放电并不是连续进行,而是在每个周期的负半周发生一次脉冲形式的放电,通过对脉冲信号作频谱分析发现其除了基波外还含有丰富的奇次和偶次成分,因此1f和2f都能检相。同时对这种施加连续电压却发生脉冲式放电的现象作了讨论。
沿着束流的轴向探测了不同位置N2等离子体的发射光谱,通过测得的光谱数据分别计算了N2和N2+的激发态振转温度,发现N2激发态振动温度和N2+的振动及转动温度随着束流的下降先降低继而升高,并根据实验条件建立理论模型,对实验数据进行了拟合,分析了其变化规律和产生机理。研究了束流中N2+/N2比例变化过程,发现随着束流向下两者比例逐渐升高,并结合实验装置进行讨论。
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