【摘 要】
：
该文第一章绪言部分介绍了MOCVD技术的发展现状和展望,以及镍膜的化学气相沉积现状和存在的问题,并阐述了课题的研究目的和意义.第二章重点介绍了实验装置的设计和改进,也简
论文部分内容阅读
该文第一章绪言部分介绍了MOCVD技术的发展现状和展望,以及镍膜的化学气相沉积现状和存在的问题,并阐述了课题的研究目的和意义.第二章重点介绍了实验装置的设计和改进,也简介了工艺原理和测控系统.实验结果表明:相对于立式反应室,使用卧式反应室不仅能够提高前驱体的利用效率,而且容易保证密封性,另外,在沉积过程中,沉积衬底(玻璃管)上出现温度梯度,因此在一个实验周期中可获得不同温度下沉积的薄膜.第三章是实验部分,重点介绍了影响沉积速率的各种因素、不同沉积衬底对薄膜质量的影响、最佳工艺参数的获取以及组织分析等,最后还简介了羰基铁的沉积特性.第四章结合有关薄膜生长理论对部分实验结果作了定性的分析.第五章对全文作了总结,提出了一些有意义的结论,同时也阐明了需进一步解决的问题.
其他文献
电镀行业是污染比较严重的行业,它所产生的电镀污泥如不经处置,必将对环境造成严重的二次污染.污泥处理技术大致可归纳为两大类:一是抛弃型技术,即污泥作为废物不利用;二是资
随着生物学的研究的深入,作为细胞识别和信号转换最好的载体糖及缀合物在与糖有关的分子生物学、病因学和药物学的的探讨和蓬勃发展的基础上又惠遇了新的良机.在累积近一个世
该文通过使用封闭式采样法,气相色谱—火焰离子化检测器(GC-FID)分析和流动式采样法,气相色谱—质谱联用(GC-MS)分析对云南省西双版纳地共典型植物排放碳氢化合物(VOC)进行了
β-FeSi2和MnSi1.75基半导体热电材料，由于它们在利用工业废热余热和其他设施热损失发电方面有很大的潜力，而且它们还具有成本低，无毒，无污染，热和化学稳定性好的优点，所以它们备受
工业的发展对材料性能提出了越来越高的要求，利用超硬膜进行材料表面防护是改进材料性能的一个重要途径。在不改变材料整体性能的前提下通过在材料表面沉积一层高硬度的膜，不仅
伴随科学技术的日渐发展,人们对于水平的需求逐渐加强,目前,汽车开始变成人们生产和生活过程里的重要的代步工具,因此人们对于质量需求也不断加强.针对汽车来说,汽车的零部件
学习评价方法的变革会直接导致课程改革质的变化和发展。《基础教育课程改革纲要》提出了“建立促进学生全面发展的评价体系。评价不仅要关注学生的学业成绩，而且要发现和发展
该文首先通过静态试验系统地研究了UV/HO系统氧化苯酚、间甲酚、4-氯酚3种酚类物质的效果.结果表明:20℃,pH=6.98,苯酚初始浓度0.6mmol/L,HO投量5mmol/L,UV照射时间1h时,苯酚
本文在对国内外镁基储氢材料的研究进展进行了文献综述的基础上，着重对以下两方面内容进行了研究：(1)用过渡族元素Cr对Mg_2Ni合金进行了元素替换，研究了Mg-Ni-Cr三元合金的晶体结构、微观特征以及吸氢动力学性能。并讨论了机械球磨改性和添加元素对合金结构以及性能的影响。选取Mg_2Ni_(0.75)Cr_(0.25)合金与纳米TiO_2共同球磨制备了纳米储氢材料，分析了材料微观结构特征，并测定