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航天发动机作为航天器的核心部件,在工作中会受到高温、高压、强烈振动的影响,长时间工作会造成发动机故障。因此,使用传感器准确测量高温环境下航空发动机工作的状态是目前面临的一个难题,薄膜应变计具有响应速度快、灵敏系数高、耐高温等优点,能够在恶劣环境中使用。薄膜应变计可利用薄膜技术将应变计敏感栅直接沉积在被测材料表面,与传统应变计相比,具有耐高温高压、抗氧化等优点。Inconel 600镍基合金具有良好的耐高温、耐高压和耐腐蚀性能,是Ni-Cr系列的代表合金,是一种理想的应变材料,该应变材料制备薄膜应变计可实现航空发动机高温部件的应变测试。本文设计制作了一种可在600℃以内工作的NiCr高温薄膜应变计。在高真空多功能复合镀膜机中采用脉冲直流磁控溅射技术依次在Inconel 600镍基合金基底上沉积SiO2绝缘薄膜、NiCr敏感栅薄膜、SiOx Ny和ITO保护薄膜,通过光刻工艺在Inconel 600镍基合金基底形成应变掩膜,完成NiCr高温薄膜应变计的制备,通过实验得到最优工艺参数,对制备的NiCr薄膜进行性能表征。对NiCr薄膜进行了不同温度的热处理,探究NiCr薄膜应变计高温特性,通过在NiCr薄膜表面沉积SiOxNy和ITO保护薄膜的SEM、XRD电学性能测试发现,NiCr薄膜的结构和性能都没有发生变化,NiCr薄膜没有形成NiO的衍射峰,在600℃内SiOxNy和ITO薄膜可以为NiCr薄膜提供抗氧化保护。探究了NiCr高温薄膜应变计热输出曲线,其热输出曲线是一种平滑曲线,随着温度升高薄膜应变计热输出值不断变大,应变计的电阻温度系数（TCR）在50350℃为80787ppm/k,薄膜应变计在常温下应变灵敏系数为1.194528,机械滞后为5.02290444。