基于原子力显微镜机械刻蚀构筑纳米结构和纳米图案

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扫描探针显微镜(SPM)是近年来发展起来的一种重要的表面分析工具,由于其分辨率高、操作简单、可以在真空、大气、液态环境下工作等优点,目前已经广泛的成为纳米尺度的观测和加工的必不可缺的重要工具。其中,作为扫描探针显微镜家族中的一种原子力显微镜由于可以在大气及液态环境下对各种材料进行形貌观测、物理性质的测量和纳米操纵及加工,已经被广泛的用于纳米科技领域的研究。基于AFM机械刻蚀加工具有加工精度高、加工材料广泛并同时能对加工内容进行检测等优点,深入研究基于原子力显微镜的刻蚀加工过程和相关技术,将
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21世纪分析仪器和分析科学的目标是分析仪器的微型化与集成化,微流体芯片是其中发展最快的一个方向。微混合器是微流体芯片的重要组成部分,实现试剂快速和均匀的混合对提高整个芯片性能有重要作用。本文在对国内外微混合器已有研究基础上,首先提出一种基于二维微流道制作工艺的分合式微混合单元;基于三个比较标准,运用仿真对分合式微混合单元的三个结构参数进行了优化;基于SU-8厚胶工艺,制作出了两种分合式微混合器,并
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便携式多道伽马能谱仪主要用于在野外现场直接测量地表岩石、土壤和矿石中铀(U)、钍(Th)、钾(K)的含量,获得相关核素的信息。它被广泛应用于地质填图、放射性矿产和非放射性矿产勘查、水文地质和工程地质调查、建筑材料及环境监测等工作。由于γ能谱仪需要兼备野外能谱信号的采集与现场数据的处理能力并结合野外使用的特殊性,对仪器的便携性、稳定性和可操作性等要求较高。本课题设计以PDA作为伽马能谱仪的数据采集与
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