UV-LIGA工艺中SU-8胶内应力和热溶胀性研究

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【摘要】

：

随着MEMS(微电子机械系统)技术的迅速发展,基于SU-8胶的UV-HGA技术得到了广泛的应用。SU-8厚光刻胶已经成功地应用于高深宽比微结构的制作。然而SU-8胶在工艺过程中会产生很大的内应力和热溶胀变形,这些问题的存在对SU-8胶微结构的深宽比及电铸结构的尺寸精度造成了严重影响。本文研究工作主要集中在SU-8胶的胶层应力和热溶胀性两方面,研究结果有利于提高SU-8胶工艺的稳定性和电铸结构的尺寸

【作者】

：

朱神渺

【机构】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2007年12期

【关键词】

：

SU-8胶内应力 BP神经网络热溶胀性

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