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大气压等离子体微射流阵列均匀性研究及其应用
【摘 要】
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大气压等离子体微射流是一种在大气压开放空间下产生的,射流直径在1mm以内等离子体。它具有无需真空腔、常温远程处理、特征尺度小等优点,可对材料三维表面进行无掩模微图案化处理,在微机电系统和微纳米生物医学领域具有广阔的应用前景。利用单根等离子体射流只能对材料进行单通道处理。为提高效率,可用多根微射流组合形成等离子体微射流阵列并行处理。但微射流阵列的间距通常在毫米量级,限制了其在微米尺度范围的应用。为此
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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2021年08期
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