随着现代科学技术的快速发展，机械加工工业对于精度的要求越来越高。在使用超精密仪器进行测量和控制时，设备所处的环境会对精度造成影响。微振动已经成为了影响设备正常工作的关键因素，微振控制技术也应运而生。微振控制是一个十分复杂的问题，首先在于环境振动的随机性，其次结构在环境振源的激励下将产生复杂的响应。因此，必须从结构角度研究微振控制技术，才能提出合理的防微振方案。针对结构防微振设计理论，国内外很多学者都进行了许多研究，但是关于微振控制技术的研究多数都集中在对设备的隔振上，而对建筑结构防微振研究并不多。由于目前的设备平台趋于大型化，并且与基础和地基相连，因此需要从结构角度来进行设计。另外已经有许多项目开始对主体结构的微振作有要求，仅仅依靠局部隔振已经无法解决，还要通过整体结构的防微振设计，才能达到微振控制要求。隔振支座的设置可以有效的改善结构性能，并且已经广泛运用在桥梁、房建等工程。为了研究设置隔振支座对结构微振控制的影响，本文采用有限元分析软件SAP2000对结构微振动响应进行模拟，输入实测加速度，得到工作平台典型点的加速度、速度、位移时程曲线以及相应的反应谱曲线，并于原始模型输出值进行对比，得到设置隔振支座对结构微振控制一些有用的结论；同时，本文还对多点激励作用下厂房的微振动响应进行了模拟，与一致激励作用下的模型进行了对比，探讨多点激励对于微振控制的影响，为整体结构防微振设计提供一些设计依据。通过比较分析的结果表明，设置隔振支座有利于微振控制，加速度以及速度响应均有所减小，其中在竖直方向减小幅度尤其明显，位移则有所增大，反应谱曲线与时程曲线的变化趋势相似，隔振支座可以有效改变隔振平台的防微振性能。在多点激励的作用下，结构的各项隔振指标均有不同程度的放大，其中水平方向增幅明显，各点在同方向变化幅度较为一致，梁上各点的变化幅度则要大于柱顶点，达到峰值的时间点接近自振周期，所以多点激励不利于微振控制，在隔振设计时有必要考虑多点激励的影响。