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十八届五中全会以来,我国提出了“创新、协调、绿色、开放、共享”五大发展理念,在新的五大发展理念的背景下,我国现阶段的经济发展从主要依靠人力和资本的发展模式转变为依赖创新的发展模式,经济由高速发展转向中高速发展。在这个阶段,经济发展对环境有了新的要求,即追求绿色创新发展,在注重经济快速发展的的同时也要关注资源节约和环境保护问题。而中国高技术产业是创新发展的关键。中国的高技术产业具备以下几个特点:能耗低、投入高、产出大,风险大,虽然近几年来中国高技术产业发展迅速,但是跟其他发达国家相比,自主创新能力仍然欠缺。这主要是由于在高技术行业的创新投入不足或者未能充分利用创新资源,导致创新产出不足。在环境资源和创新资源有限的情况下,研究如何提高高技术产业的绿色创新效率,转变经济发展方式,减少能源消耗和污染排放,对我国高技术产业发展以及中国经济的绿色可持续发展都有重要意义。通过对绿色创新效率相关文献的整理和归纳,明确绿色创新的概念,建立本文的绿色创新效率指标。选取三阶段的DEA方法测算高技术产业绿色创新效率。在模型选择方面,分别选取DEA-BCC模型和DEA-RAM模型测算2006-2015年我国28个省(除西藏、新疆和青海)高技术产业绿色创新效率,对比发现,DEA-RAM模型在实际应用中存在缺陷,不适合高技术产业绿色创新效率的测算,DEA-BCC模型更适合测算高技术产业绿色创新效率;然后通过SFA回归模型,分析外部环境因素对高技术产业绿色创新效率的影响;最后运用固定效应模型回归分析高技术产业绿色创新效率对外商直接投资(FDI)的影响,提出相应的政策建议。研究结果显示:(1)理论分析表明,DEA-RAM比DEA-BCC更适合用来测算高技术产业的绿色创新效率,并且三阶段方法更符合现实测算。(2)实证分析表明,DEA-RAM模型的测算结果存在很大的误差,高估了效率的测算值,不适合高技术产业绿色创新效率测算。(3)区域层面上分析,我国东部高技术产业的绿色创新效率相对较高,中西部较低。从省级层面上看,我国大部分省份高技术产业绿色创新效率不高。北京、天津、广东的高技术产业绿色创新效率一直较高,排名落后的主要有广西、河北、甘肃等省份。剔除外部环境因素和随机误差的影响后,东部和西部地区的高技术产业绿色创新效率有所下降,而中部地区高技术产业绿色创新效率明显提高。区域之间的差异减少,但是东部地区高技术产业的绿色创新效率还是要高于中部地区和西部地区。增强研发投入和金融支持,能有效的减少创新人员、创新资本和能源投入以及污染投入的冗余,能有效的提高绿色创新效率,而政府对于高技术产业的资助主要体现在产业资助方面。(4)从影响渠道来看,绿色创新效率主要通过环境管制渠道和创新效率诱发渠道共同对FDI产生影响。研究发现在全国和区域层面表现出较大的差异,其中全国层面:高技术产业绿色创新效率对FDI是负向关系;东部地区:高技术产业绿色创新效率对FDI是正向关系;中西部地区:高技术产业绿色创新效率对FDI是负向关系。本文最后提出政策意见:第一,要加大高技术产业的创新投入,加强对环境保护的支持,形成有利的外部环境;第二,全盘考虑绿色创新效率影响FDI在不同地区的差异,在东部地区,绿色创新效率对FDI表现正向影响;在中部地区,绿色创新效率对FDI表现负向影响;在西部地区,绿色创新效率对FDI表现负向影响;第三,在中美贸易摩擦的背景下进一步提升重要中间品的生产能力。