等离子增强化学气相沉积(PECVD)在半导体及薄膜材料制备中应用广泛,是重要的薄膜沉积工艺方法之一,其特点为工艺腔室内部系统复杂,涉及温度场、流场、电磁场、等离子场等一系列物理场以及化学反应。随着信息业的发展和产品更新换代加速,PECVD设备研发的过程已经开始由传统的经验试错向着仿真与实验相结合的方式转变。目前,市场上存在的仿真商业软件虽然已经具有较为准确完善的计算手段,但是面对PECVD复杂的工艺系统,还不足以最大化的支持装备的设计。因此,本文的研究是在现有软件系统的基础上搭建一种软件平台的框架,并对其进行部分功能的开发,将现有的多种CAD、CAE软件结合起来,共同服侍PECVD工艺系统的设计。针对PECVD工艺腔室的特点,分析了基于Agent系统设计的特点要素,阐述了基于Agent的建模与仿真的概念及思想,搭建了PECVD工艺腔室仿真软件系统的框架。基于搭建的软件系统平台,分析了系统总体功能方案,定义了系统运行的逻辑关系和各功能模块;研究了软件系统的技术方案,针对其特点分析了XML文档数据交换技术在系统中的应用;研究了系统运行的工作流和数据流;实现了对于PECVD工艺腔室仿真软件系统的开发。应用仿真软件系统,解决了实际工程问题PECVD腔室喷淋板与抽气口位置的优化设计。针对喷淋板与晶圆表面距离和抽气口高度这两个因素,建立了二次回归正交实验设计方法,并对实验设计的结果进行了分析和验证。同时,该案例也验证了软件系统的可靠性。