本文采用双阴极等离子溅射沉积技术分别在预合金化Cr不锈钢表面制备了纳米晶（MoxCr1-x）₅Si₃（x=1.00, 0.82,0.75,0.65,0.56）涂层以及在不锈钢表面制备了（Cr, Fe）3Si/Cr₁₃Fe₅Si₂双相涂层。采用X射线衍射、扫描电镜和透射电镜分析方法对涂层的显微形貌、相组成进行了综合分析,结果表明:预合金化Cr不锈钢表面制备的纳米晶（MoxCr1-x）₅Si₃（x=1.00, 0.82,0.75,0.65,0.56）涂层组织均匀、连续、致密,平均晶粒尺寸大约为40nm。涂层明显分为沉积层和Cr合金层两层,外层沉积层的相组成为单相（MoxCr1-x）₅Si₃;（Cr, Fe）3Si/Cr₁₃Fe₅Si₂双相涂层由均匀致密的平均厚度为12μm的沉积层和内层为平均厚度为15μm的扩散层组成。涂层沉积层由（Cr, Fe）3Si相和Cr₁₃Fe₅Si₂相组成。采用电化学测试系统对纳米晶（MoxCr1-x）₅Si₃（x=1.00, 0.82,0.75,0.65,0.56）涂层的在3.5%NaCl溶液中极化曲线及交流阻抗（EIS）进行了测试,在3.5%NaCl溶液中,纳米晶（MoxCr1-x）₅Si₃（x=1.00, 0.82,0.75,0.65,0.56）涂层比316L不锈钢具有更高的点蚀电位和更宽的钝化区间。同时,纳米晶（MoxCr1-x）₅Si₃（x=1.00, 0.82,0.75,0.65,0.56）涂层的自腐蚀电位Ecorr、电荷转移电阻Rct随着涂层中Cr含量的增加而增大,维钝电流密度ip随着涂层中Cr含量的增加而减小。纳米晶（MoxCr1-x）₅Si₃（x=1.00, 0.82,0.75,0.65,0.56）涂层耐腐蚀性能随着涂层中Cr含量的增加而增强。利用电化学测试系统研究了（Cr, Fe）3Si/Cr₁₃Fe₅Si₂双相涂层在静态（3.5%NaCl）及不同线速度（2.51m/s、2.98 m/s和3.45 m/s）料浆流（3.5wt.%NaCl+10wt.%石英砂）条件下的极化曲线,对经过20h浸泡（3.5%NaCl）、20h的单相流（3.5%NaCl）和料浆流（3.5wt.%NaCl+10wt.%石英砂）冲蚀试验后的阻抗谱（EIS）进行了测定,结果表明:静态条件下,（Cr, Fe）3Si/Cr₁₃Fe₅Si₂双相涂层与单一合金层的耐蚀性能相当,但明显优于316L不锈钢。在单相流和料浆流条件下,（Cr, Fe）3Si/Cr₁₃Fe₅Si₂双相涂层拥有比单一合金层和316L不锈钢更加优异的耐腐蚀性能。