本论文涉及的科研课题来源于神光-Ⅲ原型装置靶场光电系统,主要进行靶场系统中电控反射镜架微驱动组件的研制。神光-Ⅲ原型装置为我国用于惯性约束核聚变(Inertial Confinement Fusion,ICF)研究的试验装置,电控反射镜架为入射激光进入终端光学组件的最后一套调整装置,该装置调整精度的高低直接影响激光打靶的质量。微驱动组件采用两种形式,一种是由交流伺服电机带动精密滚珠丝杠通过圆柱形错位式柔性铰链驱动反射镜架,另一种方案是由交流伺服电机带动精密丝杆通过平板形直圆式柔性铰链驱动镜架。柔性铰链是一种特殊的传动部件,它是利用弹性材料的微小变形来传递力或运动。本课题设计了直圆式和圆柱形错位式两种柔性铰链分别用于两套微驱动方案。微驱动装置的控制部分由上位机和控制模块组成,上位机采用VC++6.0编制控制界面,可以设置电机旋转所需的脉冲数和脉冲速度,可以实现电机的起停,正反转及脉冲清零等工作,还可以分别控制不同镜架的电机及相同镜架的两个电机。控制模块由松下FP-e型PLC、富士FALDIC-β系列伺服驱动器及GYS系列交流伺服电机等组成。通过上位机控制PLC发出脉冲,再由伺服放大器进行分频来实现交流伺服电机的微量转动。上述两套微驱动装置均在神光-Ⅲ原型装置TM5反射镜架上进行了试验。试验结果表明:当步距为较大时,两套装置都能很好的满足精度要求。步距进一步减小,精密丝杆驱动在0.3μm/step出现了爬行,滚珠丝杠在0.1μm/step时出现爬行。这些数据为神光-Ⅲ主机装置反射镜架的研制提供重要参考。