近年来,随着微电子封装技术要求的提高以及高新技术的不断更新,传统微电子制造封装设备技术面临巨大挑战。其中,封装技术要求的提升对高动态工况下封装设备的静动态稳定性、精度等各方面性能都有严峻的考验。本文针对运动平台系统研发过程中的相关问题,设计搭建了基于宏微复合运动方式的XYθ运动平台系统。文章对该运动平台系统总体结构进行分析,包括对运动平台开展动力学分析、振动耦合解耦方法研究等。基于平台的相关分析研究,提出平台运动过程中的振动耦合解耦控制方法,设计开发XYθ运动平台的集成软件系统;基于上述运动平台系统,验证运动平台稳定性。文章主要研究内容如下:1、分析研究课题中精密运动定位平台的背景及意义,通过调研近年国内外运动定位平台系统及其系统控制方法发展的情况,分析运动定位平台系统的关键技术及难点,明确本文的重点和研究方案。2、从运动平台动态工况下误差来源角度进行研究,对XYθ运动平台关键模块展开模态分析及平台误差来源分析。确定运动平台中宏运动、微运动平台的总体结构设计、硬件选取;利用Solid Works三维建模软件建立宏平台模型,并利用MATLAB Simulink其进行模态分析、响应频率分析,分析得到运动定位平台工作的振动耦合误差来源。3、从动力学的角度研究运动平台X轴直线电机和Y轴直线电机之间的位移耦合关系,分析两者位移耦合现象对运动平台位移的影响。分别对运动平台中宏运动平台中的X轴、Y轴建分别立了系统动力学模型及其混合动力学模型,结合了电机具体参数,建立了运动平台X轴、Y轴单输入运动状态下的运动平台机电数学模型和混合输入运动状态下的运动平台机电数学模型。4、运动平台振动耦合误差补偿与仿真。开展运动平台系统控制方法的研究,从传统PID控制器着手,研究运动平台系统运动过程中振动耦合误差补偿方法;研究了系统多变量输入状态下对角阵、前馈解耦及基于神经网络算法的解耦控制方法,通过仿真进行了各算法性能比较,验证所提出的改进神经网络前馈解耦控制算法,对运动平台系统的振动耦合具有较好的抑制作用。5、设计搭建XYθ运动实验平台,进行运动平台系统软件设计。基于所设计的软件及实验系统对运动定位平台的相关性能进行测试分析,同时验证文章提出的振动耦合误差补偿方法。