微细阵列孔结构在工业中有着广泛的应用,其加工方法有超声加工、电解加工、激光加工、电子束加工及电火花加工等。微细电火花加工以其非接触加工、设备造价低廉和适应性强等优点,已经成为当代国内外微细加工领域研究的热点之一,在电子工业、航空航天、医疗器械及模具制造等领域取得了广泛的应用,在微细制造领域具有非常独特的技术优势和非常广阔的应用前景。但同时电火花加工也存在加工速度慢及工艺稳定性差等缺点,国外研究表明,用阵列电极加工阵列孔,提高了电火花加工阵列孔的加工效率及工艺稳定性,而国内在微细电火花加工阵列轴孔方面,还没有开展专项研究,因此研究微细电火花加工阵列轴孔的工艺及其规律,对微细电火花技术的广泛应用具有十分重要的意义。本文主要对阵列轴孔的超声微细电火花技术进行了研究,首先结合微细超声电火花加工过程中的电压波形,对微细超声电火花加工的机理进行了研究,为提高加工效率和优化工艺参数提供了理论依据;然后采用正交试验法研究了加工电压、加工电容、阵列电极间距和超声振动振幅等因素对阵列电极加工效率的影响规律,并对阵列电极加工阵列孔的加工时间进行了试验研究,在此基础上加工出了5×5直径约为30μm的阵列电极和5×5直径约为40μm的阵列孔;最后以MATLAB6.5为平台,对制作阵列电极的加工时间进行了神经网络仿真分析。本文研究表明,用阵列电极加工阵列孔,提高了电火花加工微细阵列孔的加工效率和工艺稳定性,是一种极具发展潜力的工艺方法。