随着微机电系统(MEMS)技术的蓬勃发展,非制冷红外探测器也取得了巨大的技术进步。随着制造技术的进步和成本的降低,非制冷红外探测器已经不再局限于专业军事、航空以及高端工业领域的应用。新的应用领域如汽车增强视觉系统、智能空调以及智能手机等消费类电子领域需要大量的低规模红外探测器,其中包括廉价的线列红外探测器。低规模低成本的非制冷红外探测器被认为是下一个可以呈现爆发式增长的民用市场产品。本论文从实际项目需求出发,研究了一种8单元线列的非制冷红外探测器。经过仿真设计以及大量的工艺探索与研究,成功制备了线阵VOx红外探测器,很好地满足了实际要求。本论文的主要工作如下:(1)开展了多层薄膜结构探测器吸收性能研究。通过MATLAB模拟分析两种吸收率计算模型,分别研究每个模型中探测器结构参数的变化对吸收率的影响,例如空腔高度的影响、热敏层厚度的影响、支撑层厚度的影响等,最终从理论上确定了最佳组合参数。(2)进行了探测器的工艺设计制备。设计了整套的器件制备工艺流程,包括掩膜版的整体布局以及详细的工艺步骤,利用光刻、镀膜、刻蚀等工艺成功制备了具有悬浮微桥结构的薄膜型探测器,通过扫描电子显微镜获得其表面形貌。(3)对探测器进行了光学和电学性能测试。测量了探测器的反射光谱,测量结果与仿真结果一致。此外,通过搭建电学测试系统,获得了器件的响应率、噪声以及比探测率。