ZnSe薄膜电沉积工艺参数的研究

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ZnSe可以发射蓝光,广泛应用于蓝光半导体激光器、发光二极管LED以及多功能太阳能电池中。本论文采用电化学沉积法,以ITO导电玻璃为基底材料,共沉积制备了ZeSe薄膜,并研究了工艺参数对薄膜的影响。对沉积过程进行了伏安特性分析,对薄膜进行了XRD、SEM以及光学分析。实验过程中,通过对工艺参数Zn2+/SeO32-浓度比、电流密度、PH值、温度以及沉积时间的研究,确定了电化学沉积法制备ZeSe薄膜的最佳工艺参数。经过对沉积过程的伏安特性分析,确定了理想的沉积电位。经过退火,可以提高Z
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