随着电子信息技术、军事技术和航空航天技术的发展,人们对作为人机交互界面的显示器的要求也越来越高,平板化、低能耗和健康环保是未来显示技术发展的方向。无机交流薄膜电致发光（TFEL）显示器件以其全固态、主动发光、视角大、响应速度快、环境适应性强等优点正得到人们的广泛关注,特别是氧基交流薄膜电致发光器件,其热化学稳定性好、寿命长、显示性能优越,具有广阔的应用前景。本课题主要研究了Ga₂O₃:Mn电致发光薄膜的制备技术和热处理技术及其发光性能。采用电子束蒸发技术制备了Ga₂O₃:Mn薄膜。结合表面形貌、显微结构等微结构分析和折射率测量,研究了Ga₂O₃:Mn薄膜的微结构和发光性能与其制备工艺和热处理工艺之间的关系,进行了工艺优化,确定了良好的制备工艺和热处理工艺参数。制备出了具有较好发光性能的以BaTiO3陶瓷片为基片的Ga₂O₃:Mn薄膜电致发光器件。研究结果表明:热处理温度对Ga₂O₃:Mn薄膜的结晶结构、结晶取向具有重大影响。随着热处理温度的提高,Ga₂O₃:Mn薄膜的结晶度逐渐提高,Ga₂O₃:Mn薄膜由非晶态逐渐转变为多晶态,由低温热处理时的单斜、六角和立方等混合晶系结构逐渐转变为以单斜晶系为主的晶体结构。Ga₂O₃:Mn薄膜电致发光器件发绿光,其发射光谱主峰在490nm～535nm之间,且随着驱动电压的增加,发射光谱有蓝移现象。Ga₂O₃:Mn薄膜电致发光器件的发光性能,不仅与Ga₂O₃:Mn薄膜的结晶度有关,而且更取决于膜的晶体结构和结晶取向。