微细加工、光学存储、光学成像等很多领域都对微光斑的能量分布有较高的要求,目前常见的测量方法多用来测量高斯分布的激光光束的尺寸和能量分布。实际无衍射微光斑的能量分布影响图像恢复效果,无衍射微光斑尺寸及能量分布的测量可以为改进无衍射光滤波方法和参数的优化提供依据,但实际无衍射光斑的能量分布可能不规则,光斑的尺寸小,而且强度很弱。本文用小孔对被测光斑二维扫描取样,再对取样信号处理后复原光斑的能量分布的方法,实现了对形状和能量分布不规则、尺寸较小、能量密度小的光斑能量分布的测量。采用内外层嵌套的柔性铰链机构作为精密微动工作台来带动微米级小孔按很小的步距对被测光斑二维扫描取样,以实现对尺寸较小、形状和能量分布不规则的光斑的测量。分析和实验均表明该扫描装置具有较高的分辨率和位移精度。用光电倍增管作为光电探测器,接收小孔对光斑的取样信号,再以低噪声的I/V转换电路和电压放大电路处理取样信号,使得测量装置在信号处理方面具有高灵敏度、低噪声的特点,实现了对微弱光斑的测量。用制做的光斑测量装置对无衍射成像微光斑进行了测量,对测量数据处理后给出了光斑的二维能量分布图和一维能量分布图,采用反插值算法对测量数据计算处理后给出了测量光斑的形状和尺寸。测量结果表明,这种方法可以获得准确的光场分布信息,实验中测得的光斑能量分布接近光斑的理论分布。