压电陶瓷(PZT)特性测试与分析

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自1880年居里兄弟发现晶体的压电效应以来,压电器件已在水声、超声、传感技术及新型作动器等领域得到了广泛的应用。随着科学技术的发展,航空航天、光学精密工程等新技术领域对压电器件的特性要求也越来越高。特别是在相移干涉技术中,作为核心部分的压电陶瓷(PZT)受到越来越多的重视。由于PZT具有体积小、响应快、位移量大及精度高等优点,已成为目前应用非常广泛的微位移执行器。但由于材料自身的特性及制造工艺上的缺陷,PZT的位移与驱动电压之间总有一定的非线性。 在光学精密测量中,PZ
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