【摘 要】
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针对980nm波段半导体激光器的外延结构,分析了影响高功率半导体激光器最大输出功率和转换效率进一步提高的主要原因,即内损耗机制,根据对内损耗机制的研究,找到了降低器件内
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针对980nm波段半导体激光器的外延结构,分析了影响高功率半导体激光器最大输出功率和转换效率进一步提高的主要原因,即内损耗机制,根据对内损耗机制的研究,找到了降低器件内损耗的方法,并运用Lastip软件对980nm高功率半导体激光器的波导结构进行了优化设计,通过优化波导中的Al组分及在波导中加入低折射率光陷阱层,降低了器件的内损耗,提高了器件的输出功率和转换效率,并得到较高的光学灾变损伤阈值。另外,研究了掺杂对980nm宽波导结构内损耗产生的影响,采用了三种掺杂方式对宽波导结构的上下波导层进行掺杂,分别为非掺、n-n掺杂和n-p掺杂,最后发现n-n掺杂更有利于减小半导体激光器的内损耗,提高转换效率和输出功率。
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