氮化物半导体增强型HEMT器件与实现方法研究

来源 :西安电子科技大学 | 被引量 : 5次 | 上传用户：flish_mh

【摘要】

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【作者】

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何云龙

【出处】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

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2017年01期

【关键词】

：

GaN HEMT 增强型双异质结纳米沟道等离子体处理

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