纳机电系统是一项被认为面向21世纪可以得到广泛应用的高新技术产业，在国防军工、航空航天、医疗工程等领域具有潜在应用，倍受各国政府和专家的高度重视。纳执行器是NEMS (Nano Electro Mechanical System)的核心部分，它既可以为纳机电系统提供动力，也可以成为纳机电系统的操作和执行单元。其中静电驱动的纳执行器是应用最广泛的执行器之一。在扭转式静电纳执行器中，有一种pull-in现象的存在，这种现象是研究静电执行器必须考虑的。在本文中，概述了微纳机电系统的发展方向及应用，介绍了国内外微纳执行器的研究现状。基于扭转式静电纳执行器的集总参数模型，简单介绍了执行器的pull-in现象和机理。接着介绍了忽略Casimir效应下的扭转式静电纳执行器的静态pull-in参数的求解，主要通过力法和能量法研究pull-in现象。然后，在此研究的基础之上，分析了考虑Casimir效应的扭转式静电纳执行器的静态pull-in现象，得出了pull-in失稳现象相关的结果。最后重点研究了考虑Casimir效应的静电纳执行器的动态pull-in现象，对扭转式静电纳执行器在阶跃响应、调制响应下进行理论分析，并运用Matlab数学软件对扭转式静电纳执行器进行分析，得出扭转式静电纳执行器的动态pull-in特性。