YBCO超导带材的MOCVD工艺及Zr掺杂特性的研究

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近年来,以YBCO为代表的二代高温超导带材得到了广泛的研究,高性能的YBCO超导带材在高场磁体、大电流输送等方面均有重要的应用价值。MOCVD技术由于具有沉积速率高、结晶质量好等特点,目前在生长半导体器件方面得到了广泛应用,用来生长高温超导层是个很有挑战性的领域,对于YBCO带材的商业化具有非常重要的意义。本论文以LaMnO3/homo-epi MgO/IBAD-MgO/SDPY2O3/Hastelloy alloy作为YBCO超导层的衬底基带,采用MOCVD技术来展开对超导薄膜工艺的研究。研究内容
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