陶瓷滚子轴承在高速轻载、高温、腐蚀及绝缘环境下具有良好的工作性能,但目前陶瓷滚子的抛光加工效率还较低,因此,研究提高陶瓷滚子抛光加工效率的技术方法就显得很有必要。磁流变超声波复合抛光技术,是将化学、声学、电磁学、流体力学等多种作用综合应用于抛光过程中,能够在保证抛光效率的同时显著提高工件表面质量。本文将该技术应用于氮化硅陶瓷滚子的抛光过程中并进行了一系列研究,主要研究内容包括:1对抛光系统中的超声抛光系统进行设计研究。根据超声加工的相关理论以及抛光试验的具体要求,提出对超声抛光系统各组成部件的性能要求,进而对各部件进行选取和设计计算;2对抛光试验用的水基磁流变抛光液进行研究和配制。根据水基磁流变抛光液的性能特点、各组分的作用以及氮化硅材料的特点,对水基磁流变液的各组分进行选取,并制定出合适的配制方法;3对抛光过程的材料去除机理进行研究。在传统的材料去除理论基础上,针对磁流变超声波复合抛光技术的特点,根据Preston方程,通过对抛光区域内抛光压力的分析,建立其材料去除数学模型;4氮化硅陶瓷滚子的抛光工艺试验研究。通过一系列的抛光工艺试验,研究各主要工艺参数对抛光材料去除效率和工件表面粗糙度的影响,得出相应的影响规律,进而得到抛光的最佳工艺参数。通过本课题的一系列研究工作,完成了超声抛光系统的设计,配制了性能优良的水基磁流变抛光液,研究了抛光过程的材料去除机理,并最终得到了符合实验要求的氮化硅陶瓷滚子。